基本信息

邊長                                                                  182.3x192.6±0.15mm

厚度                                                                    135±10μm

TTV                                                                     ≤25μm

線痕                                                                     ≤15μm

電阻率                                                     4-28Ω.cm

少子壽命                                                  ≥3000μs

氧含量                                                    ≤ 5.5E + 17 at/cm3（11ppm）

碳含量                                                     ≤ 5E + 16 at/cm3（1ppm）