 大尺寸 | 薄片化 | 柔性定制 | 高效N型 |
基本信息
邊長(zhǎng) 182.2±0.25
厚度 150±8μm
TTV ≤25μm
線痕 ≤13μm
電阻率 0.4-1.1Ω.cm
少子壽命 ≥80μs
氧含量 ≤ 7.25E + 17 at/cm3（14.5ppm）
碳含量 ≤ 5E + 16 at/cm3（1ppm）
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